真空熱處理技術(shù)已經(jīng)在各種工模具鋼、不銹鋼、軸承鋼、碳鋼、硬質(zhì)合金、合金鋼及高合金鋼等重要零件的真空熱處理和真空化學(xué)熱處理上得到了較好的應(yīng)用，因為真空熱處理具有很多優(yōu)點：
工件在低于大氣壓力下加熱，不接觸空氣，表面不會發(fā)生氧化，當(dāng)爐內(nèi)的真空度抽到1～10-1Pa時，工件表面達到了不脫碳、不滲碳的目的，從而實現(xiàn)了光亮淬火的目的。
另外，在精密的小微型(軸承內(nèi)徑﹤9mm)軸承上應(yīng)用也較多，采用不銹鋼和軸承鋼等材質(zhì)制作的軸承套圈進行真空淬火后的質(zhì)量非常好，因為套圈經(jīng)真空淬火后表面沒有脫碳、滲碳現(xiàn)象，套圈的材質(zhì)又可以進行脫氣，其雜質(zhì)可以降低到1.5ppm以下，使硬度分布均勻，畸變極小，從而提高了軸承的耐磨性，并具有高的彈性極限和接觸疲勞強度，延長了軸承的使用壽命，提高了市場競爭力。
在真空度低于金屬或合金的相應(yīng)分解壓力時，其氧化物會發(fā)生分解，形成游離氧并立即被排出真空室外，使工件內(nèi)部的質(zhì)量得到提高。
由于鋼鐵零件的坯料在冶煉時會吸入大氣中極少量的氫氣、氮氣、一氧化碳等氣體，從而產(chǎn)生微小氣孔，易造成氫脆等缺陷，硬質(zhì)合金。在壓制時也會有空氣進入，所以對于工模具鋼來說，通過真空技術(shù)可以將工件內(nèi)部的殘余氣體抽掉，使組織得到純凈。對于硬質(zhì)合金來說，通過真空處理同樣可以將工件內(nèi)部的殘余氣體抽掉。
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真空爐在中小型企業(yè)及專業(yè)工模具工廠使用得比較普遍，特別是私營企業(yè)在刀具、工模具及電動工具等工件的淬火上采用真空爐的比率也在逐漸增多。
真空熱處理因為沒有氧化脫碳現(xiàn)象，畸變很少且清潔光亮，所以廣泛用于油泵油嘴偶件的真空淬火和真空滲碳，這樣可以避免用鹽浴爐造成偶件內(nèi)孔有時因殘鹽清冼不干凈或用保護氣氛造成表面出現(xiàn)黑色組織(脫碳)現(xiàn)象。
對于滲碳鋼的針閥體來說，要求的0.5～0.9mm滲碳層用真空滲碳能得到保證，而用可控氣氛爐滲碳較難得到保證。對于柱塞泵等精密液壓件來說，用真空淬火可以減少畸變，提高耐磨性，確保工件質(zhì)量穩(wěn)定。油泵油嘴偶件及柱塞泵液壓件應(yīng)用真空技術(shù)淬火已經(jīng)幾十年了，在提高產(chǎn)品質(zhì)量上得到了廣泛的認(rèn)可。
真空熱處理是清潔熱處理工藝，它在整個熱處理過程中占有重要地位，可以提高產(chǎn)品質(zhì)量，改變熱處理車間的面貌，改善操作環(huán)境，是一個值得推廣應(yīng)用的技術(shù)。
真空滲碳比可控氣氛爐滲碳的產(chǎn)品質(zhì)量好，對于要控制淬火變形的齒輪滲碳，在用可控氣氛爐滲碳后需要用淬火壓床進行邊淬火邊矯正，其質(zhì)量有時還達不到技術(shù)要求，況且滲碳層的滲層和碳濃度分布均勻性較難得到保證，經(jīng)常會出現(xiàn)內(nèi)氧化現(xiàn)象，造成非馬氏體黑色組織的出現(xiàn)，生產(chǎn)率有時也會受到影響，所以對于質(zhì)量要求較高的摩托車、汽車減速器、汽車發(fā)動機等部件內(nèi)的中小型齒輪及齒輪軸等工件的滲碳。
在有條件的企業(yè)中已經(jīng)逐漸從可控氣氛滲碳向真空滲碳過渡。對于質(zhì)量要求更高的齒輪及齒輪軸等工件的滲碳，可用低壓真空滲碳與高壓氣淬技術(shù)，它在國內(nèi)已逐漸得到應(yīng)用。
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